中科昊海生产稀有气体填补安徽空白，产量占国内1/5份额
半导体工业“粮食”实现阜阳造
本报记者 徐风光
提起氖、氦、氪、氙这些稀有气体，很多人并不熟悉。然而，它们却在芯片制造等领域发挥着重要作用，被称为半导体工业的“粮食”和“源”。
高纯度的氖、氦、氪、氙等稀有气体，以其稀缺性和提取的高难度，被视为气体领域的“金字塔”，在世界范围内，至今仍主要由极少数发达国家供应。
如此重要的战略性资源，目前已在阜阳实现量产——安徽中科昊海特种气体科技有限公司的高纯特种电子气体项目首期装置，已于2021年成功开车，填补了安徽空白，今年以来实现产值1.9亿元。
盛夏时节，阜阳煤基新材料产业园内，安徽中科昊海特种气体科技有限公司的两套全自动化氖氦、氪氙精制装置正在高速运转，每小时能分别生产20标方氖氦混合气体、400标方氪氙混合气体。
阜阳煤基新材料产业园是安徽省着力打造的特色化工集聚区之一。近年来，以昊源化工集团为龙头，园区煤基化工新材料产业发展蓬勃。看中稀有气体广阔市场前景和昊源化工丰富的尾气资源，2019年，安徽中科昊海落户阜阳煤基新材料产业园，投资上马了高纯特种电子气体项目和高端氢能项目。
项目首期建设的20标方/每小时氖氦精制装置和400标方/每小时氪氙精制装置，已于2021年成功开车。
“我们采用的技术，依托中科院理化所科研成果，产出的氖、氦、氪、氙稀有气体产品纯度达99.9999%，填补了安徽省企业生产稀有气体的空白。”安徽中科昊海董事长杨坤介绍，氖、氦、氪、氙这些稀有气体，在半导体制造等领域应用广泛、作用关键。特别是高纯度稀有气体的混合物，在受到高压激发后，会产生固定波长的光线，直接关系晶圆光刻、芯片制造质量。
虽然这些稀有气体具有显著的战略性价值，然而，稀有气体本身就很稀缺，高纯度稀有气体提取更是有着很高的技术“门槛”。目前在国际上，半导体原料气体，主要由乌克兰等国家供应，稀有气体精制提取装置，也仅有极少数国家能够制造。
在先进技术“加持”下，安徽中科昊海迅速打破进口依赖、拓宽市场。杨坤介绍，目前，企业已同三星、铠侠电子、长江存储等国内外芯片制造企业建立了稳定合作关系，生产的稀有气体已占据国内同行业20%的市场份额。
特别是受俄乌冲突等影响，国内半导体产业供应链加速本地化，安徽中科昊海的发展也迈出更快步伐。“去年，我们正式生产仅有不到8个月的时间，但实现销售收入7000多万元，今年上半年更是达到了1.9亿元。”
以先进技术掌控更大“气场”，安徽中科昊海还在发力。
今年初，企业的2000立方米/小时氢气纯化装置开车成功；另一套1.5吨/日氢气液化装置目前也在集成调试中，预计下半年可开车。两个装置达产后，既能够向氢燃料电池汽车加氢站供应液氢，又可满足半导体产业对6N级乃至更高纯度氢气的需求，企业年产值也有望突破10亿元。
杨坤介绍，下一步，企业将进一步抢抓发展机遇，在巩固扩大现有产能的基础上，加快推进二期项目建设，力争用3年左右时间，成长为稀有气体行业的头部企业，为缓解高纯特种电子气体进口依赖、推动阜阳制造业高质量发展贡献更多力量。
提起氖、氦、氪、氙这些稀有气体，很多人并不熟悉。然而，它们却在芯片制造等领域发挥着重要作用，被称为半导体工业的“粮食”和“源”。
高纯度的氖、氦、氪、氙等稀有气体，以其稀缺性和提取的高难度，被视为气体领域的“金字塔”，在世界范围内，至今仍主要由极少数发达国家供应。
如此重要的战略性资源，目前已在阜阳实现量产——安徽中科昊海特种气体科技有限公司的高纯特种电子气体项目首期装置，已于2021年成功开车，填补了安徽空白，今年以来实现产值1.9亿元。
盛夏时节，阜阳煤基新材料产业园内，安徽中科昊海特种气体科技有限公司的两套全自动化氖氦、氪氙精制装置正在高速运转，每小时能分别生产20标方氖氦混合气体、400标方氪氙混合气体。
阜阳煤基新材料产业园是安徽省着力打造的特色化工集聚区之一。近年来，以昊源化工集团为龙头，园区煤基化工新材料产业发展蓬勃。看中稀有气体广阔市场前景和昊源化工丰富的尾气资源，2019年，安徽中科昊海落户阜阳煤基新材料产业园，投资上马了高纯特种电子气体项目和高端氢能项目。
项目首期建设的20标方/每小时氖氦精制装置和400标方/每小时氪氙精制装置，已于2021年成功开车。
“我们采用的技术，依托中科院理化所科研成果，产出的氖、氦、氪、氙稀有气体产品纯度达99.9999%，填补了安徽省企业生产稀有气体的空白。”安徽中科昊海董事长杨坤介绍，氖、氦、氪、氙这些稀有气体，在半导体制造等领域应用广泛、作用关键。特别是高纯度稀有气体的混合物，在受到高压激发后，会产生固定波长的光线，直接关系晶圆光刻、芯片制造质量。
虽然这些稀有气体具有显著的战略性价值，然而，稀有气体本身就很稀缺，高纯度稀有气体提取更是有着很高的技术“门槛”。目前在国际上，半导体原料气体，主要由乌克兰等国家供应，稀有气体精制提取装置，也仅有极少数国家能够制造。
在先进技术“加持”下，安徽中科昊海迅速打破进口依赖、拓宽市场。杨坤介绍，目前，企业已同三星、铠侠电子、长江存储等国内外芯片制造企业建立了稳定合作关系，生产的稀有气体已占据国内同行业20%的市场份额。
特别是受俄乌冲突等影响，国内半导体产业供应链加速本地化，安徽中科昊海的发展也迈出更快步伐。“去年，我们正式生产仅有不到8个月的时间，但实现销售收入7000多万元，今年上半年更是达到了1.9亿元。”
以先进技术掌控更大“气场”，安徽中科昊海还在发力。
今年初，企业的2000立方米/小时氢气纯化装置开车成功；另一套1.5吨/日氢气液化装置目前也在集成调试中，预计下半年可开车。两个装置达产后，既能够向氢燃料电池汽车加氢站供应液氢，又可满足半导体产业对6N级乃至更高纯度氢气的需求，企业年产值也有望突破10亿元。
杨坤介绍，下一步，企业将进一步抢抓发展机遇，在巩固扩大现有产能的基础上，加快推进二期项目建设，力争用3年左右时间，成长为稀有气体行业的头部企业，为缓解高纯特种电子气体进口依赖、推动阜阳制造业高质量发展贡献更多力量。
